西安微电子技术研究所于2018年6月自愿开展清洁生产审核工作，在行业专家及咨询人员的指导下，于2019年9月完成清洁生产审核工作，2019年10月31日顺利通过由西安市生态环境局组织的清洁生产审核绩效评估会。

本轮清洁生产审核共筛选出可行的清洁生产方案29项，其中，无/低费方案23项，共投资186.15万元，截止目前为止全部实施完毕，产生经济效益247.25万元；中/高费方案6项，共投资1160万元，截止目前为止全部实施完毕，共产生经济效益38万元，同时所有方案实施后，所有已实施方案共计投资1346.15万元，节约成本285.25万元/a，年节约用电12.87万kwh，节约用水39002t，年节约过滤器540块，年减少氯化氢、硫酸雾等酸性气体排放10kg，年节约氮气126t，年节约硅片3000片，节约SOG30瓶，年减少废切削液排放750L，年减少一般固废产生2.5t，减少SO2排放0.28t/a、减少NOx排放4.3t/a，减少化学品挥发15kg、年减少NF3、CF4、CHF3等PFC尾气排放120kg，减少COD排放140kg/a，减少氨氮排放840kg/a。取得了一定的环境效益和经济效益。